欧姆龙E3S-ZL3指导手册

尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却E3S-ZL3。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器E3S-ZL3。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。种类：端子台型，温度输入型。
本体：控制输出1点型（电源AC/DC24V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：电压输出（SSR驱动用）。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：1点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能：--。
事件输入点数：2点。
传送输出：--。
通信：--。
48×24mm的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升
提供端子台型和无螺钉夹具端子，可交互显示PV/SVE3S-ZL3。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，
可预防维护温控器内部继电器。
3种颜色显示切换当前值（PV）。
适用支持软件（CX-Thermo-Ver.4.2以上）。
可11段数字显示。
提供报警输出1点型和2点型。端子部形状:端子内置型。
保护管直径D:φ6.4mm。
元件种类：J（CA）。
保护管长度L：20cm。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽槽并用的方式设定落座位置E3S-ZL3指导手册。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂脂E3S-ZL3指导手册。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。