晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式反射板。
使用环保导线（无滑石粉）。具有更大的传感距离的安全安装。
尺寸：M18，非屏蔽。
检测距离：16mm。
连接方式：M12连接器。
机身材料：黄铜。
螺纹长度（总长度）：61(75)。
输出形式：PNP。
动作模式：NC。导线长度：2米。
芯线数：1线。小型塑料机壳型。
检测方式：回归反射型。
形状：立式型。
连接方式：导线引出型。
检测距离：红色光1m。
输出方式：PNP输出。
板状物检查玻璃晶圆片LCD玻璃基板：适用反射板。
圆筒物检查可乐瓶透明瓶子：不适用。控制输出：继电器输出。
辅助输出：2点。
加热断线、SSR故障检测功能：--。
事件输入：--。
通信：RS-485。
端子形状：主单元单体型(无端子单元)。
电源电压：AC/DC24V。
E5□C系列的操作性、维持原状适合连接触摸屏/PLC和温控器的系统的DIN导轨安装型。
进深85mm×宽22.5mm的DIN导轨安装型，收纳于薄型控制柜内的纤细机身。
采用端子台拆装结构，可轻松更换，提高了维护性。
通过50ms的高速采样，适用于高速升温的用途。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连后，无需电源接线即可
设定。反射板。
柜内启动时或异常时的确认简单，醒目的白色PPV显示
(PV高8.5mm)E39-RS3。温度范围：-40.0～40.0℃。
正/反动作：正动作作（冷却用）E39-RS3。
调节模式：ON、OFF动作。
借助微电脑可实现（以0.1°C为单位）的温度控制。
与控制设备组合使用，可调整调节灵敏度。
附带便于节能运行的设定值转换功能，以及便于运行停止的控制禁止功能。