E3S-CL1只要设定距离,就能稳定地检测各种颜
色的工件E3ZM-B专用反射板晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂接近开关。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线(无滑石粉)。种类:无螺钉夹具端子台型,温度输入型。
本体:控制输出1点型(电源AC100~240V用)。
外壳颜色:黑色。
控制输出:电压输出(SSR驱动用)。
控制模式:标准或加热冷却。
辅助输出点数:1点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能:--。
事件输入点数:--。
传送输出:--。
通信:RS-485接近开关。
48×24mm的通用温控器已升级&功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能,性能进一步提升
提供端子台型和无螺钉夹具端子台型。
增加PV/SV状态显示功能,方便查看温控器的状态
(自动/手动、RUN/STOP、报警发生),可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能,
可预防维护温控器内部继电器。
3种颜色显示切换当前值(PV)。
适用支持软件(CX-Thermo-Ver.4.2以上)。
可11段数字显示。
提供报警输出1点型和2点型。尺寸:96×96mm。
本体:端子台型,模拟输入型。
种类:控制输出2点型(电源AC100~240V用)。
外壳颜色:黑色接近开关。
辅助输出点数:3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源:--。
事件输入点数:2点。
传送输出:--。
通信:--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级&功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能,性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能,方便查看温控器器的状态
(自动/手动、RUN/STOP、报警发生),可交互显示PV/SSVE2F-X5Y2-53 5ME2F-X5Y2-53 5M。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能,可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示,可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键,分配自动/手动、RUN/STOP等,可实现一键操作。