晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E3Z-G62-11B 0.3M欧姆龙内置小型放大器型光电传感器。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。端子部形状:导线直出型。
保护管直径D：φ3.2mm。
保护管长度L：50cm。
导线种类：一般用。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品E3Z-G62-11B 0.3M欧姆龙内置小型放大器型光电传感器。尺寸：96×96mm。
种类：电源AC100～240V用。
外壳颜色：黑色。
控制输出1：输出单元方式。
控制输出2：输出单元方式。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障检测功能：单相或三相加热器用检测功能。
事件输入点数：2点。
传送输出：--。
远程SP：4～20mA输入。
通信：RS-422。
通用温控器新增（高分辨率、高速、输入）型产品。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器E3Z-G62-11B 0.3M欧姆龙内置小型放大器型光电传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生）），
可交互显示PV/SVE3Z-G62-11B 0.3M欧姆龙内置小型放大器型光电传感器。
通过支支持软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和）设定，
能够执行柔性的接点输出E3Z-G62-11B 0.3M欧姆龙内置小型放大器型光电传感器。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预测温控器内部继电器的故障。
备有位置比例型。