随着AIOT、5G等新一代信息技术的快速发展和深入应用,我国的产业园区也向着智慧化、信息化加速转变,得益于国家相关政策的领导,以及科技巨头的资本加持,我国智慧产业园建设掀起了一波热潮。智慧园区建设
概述 无尘室是半导体生产的关键设施。不对生产过程进行严格的控制将产生有缺陷的芯片并且浪费宝贵的资源。对无尘室环境的监控包括管理空气过滤系统、控制系统以及监测室内的温度、湿度、压力、气体成分和
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