ATA-4014高压功率放大器驱动超声马达测试应用

超声波马达原理：　　电能和机械功可以通过电磁力以外的方法进行转换。已知利用作用在电容器的电极之间的力的静电电动机和利用压电元件的超声电动机。尽管静电马达已作为MEMS（微机电系统）而受到关注，但很少